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光学元件&光学系统
分辨率板
筛选条件
镀膜
负片,铬(图案透光,其余地方镀膜)
正片,铬(图案镀膜,其余部分透光)
尺寸
Ø25.4 mm
25.4mm×25.4mm
50.8×50.8 mm
76.2mm×25.4mm
76.2×25.4 mm
76.2mm×76.2mm
76.2×76.2 mm
分辨率
1-18 lp/mm
1-250 lp/mm
2.4-80 lp/mm
0.48-16 lp/mm
1.2-57.3 lp/mm
2.3-114.6 lp/mm
放大倍数
10X
25X
数值孔径(NA)
1
0.6
0.95
1.05
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