FA-MT3C 手动探针台——专为高校、研究所及产线实验室设计 的 6 英寸晶圆测试解决方案。以模块化架构为核心,紧凑灵活,兼容 主流显微镜,提供精准操控与稳定吸附,满足多样化半导体测试需求, 是追求实用性与高性价比的理想选择,并支持未来升级。
设备尺寸 560x470x620mm(长 x 宽 x 高) |
设备重量 约 50kg |

模块化设计,灵活扩展: 核心架构支持个性化定制,提供多种外 观构型,并预留升级空间,轻松适应未来测试需求变化。
精准操控,稳定可靠: 精密丝杆传动卡盘(无回程差设计) + 360°旋转及微调,实现亚微米级精准定位与角度调整,测试结果 可靠。
真空吸附升级,针座更稳: 全新表面处理针座平台,显著增大摩 擦力,确保探针座吸附稳固不移位,测试过程更安心。
独立真空控制,灵活适配: 卡盘每个真空通道均可独立开关,灵 活应对不同尺寸、形状的晶圆或芯片,夹持更智能。
丰富卡盘选配,满足专业: 可选配镀金卡盘(高导电)、陶瓷卡盘(耐高温/绝缘) 等,满足多样化的电性测试环境要求。
显微镜兼容无忧:无缝兼容主流连续变倍体视显微镜或高清视频 显微镜,观测清晰便捷。
实验室高性价比之选:结构紧凑节省空间,配置丰富实用,在提 供专业级手动测试精度与功能的同时,具备突出的性价比,是实验室预算的明智投入。

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