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半自动探针台
说明介绍
产品说明

     专为半导体、光电及集成电路研发与制造打造。支持 3 寸至 12 寸晶圆,实现≤15 秒极速自动对位与高精度电参数/功能测试。集成 智能触控、动态 MAP 显示与五段式 Z 轴防护,显著提升测试效率与 良率,有效降低研发与制造成本。

通用参数
设备尺寸
1300x1100x1700mm(长 x 宽 x 高)
设备重量
500kg
半自动探针台
  • 全尺寸晶圆兼容:无缝适配 3 寸、4 寸、5 寸、6 寸、8 寸、12 寸晶圆,满足广泛研发与生产需求;

  • ≤15 秒极速自动对位:智能扫描对位系统 实现超快精准定位, 大幅缩短测试准备时间,提升效率 (UPH);

  • 智能触控+动态 MAP:直观触屏界面 简化操作;实时动态 MAP 图 清晰展示测试进度、结果分布与失效点,一目了然;

  • 高精度三轴运动与补偿:X/Y/Z 精密运动平台 结合软件对 垂直 度、平面度 的主动补偿,确保测试定位精准与过程稳定可靠;

  • 五段式 Z 轴智能防护:独创分段控制 (基本/接触/缓冲/过冲/折回 高度)+探边功能,有效防止探针划伤芯片及接触不良,保护昂贵 晶圆与探针;

  • 多功能智能测试:支持圆形/矩形/范围重测/探边测试/范围打点/ 回收测试/脱机打点等多种模式,灵活应对复杂测试场景;

  • 降本增效利器:自动化测试流程减少人工依赖,提升测试效率与 良率,显著缩短研发周期,降低制造成本;


产品型号 设备尺寸 对比 文件 单价 发货日期 购物车
FA-ST1Z 1300x1100x1700mm 请联系客服 请联系客服