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高速3D测量模组
说明介绍 组装
产品说明
  • 多相机并行3D成像;
  • 检测速度快,3D成像速度<0.3s;
  • 创新型的光学架构,可大幅度降低硬件成本;
  • 支持多方向成像(最高支持12方向);

     高速3D测量模组是一款基于条纹结构光的3D成像模组,可对FPC柔性电路板、PCB印刷电路板的光刻、锡膏印刷、元件、焊后组件一级集成电路的晶圆外观、2D/3D、Bumping和IC封装等领域进行检测。该产品采用创新的光机系统和成像算法实现快速三维成像,从四个方向多维度采集样品特征,有效抑制了多重反射造成的测量误差,实现样品的全方位无死角测量,单个FOV的图像采集时间可短至0.3s以内,且大幅降低了三维成像的成本。

通用参数
物镜
双通道双远心镜头
光源
RGBW四色光源
相机
分辨率:5120x5120

发货清单

名称

数量

名称

数量

Nano120主机

1

保修卡

1

标准台阶块

1

横向分辨率版

1

操作手柄

1

用户手册

1

软件光盘

1

安装手册

1

产品合格证

1

接受手册

1

·

可选配件

样品台可定制

6英寸、8英寸、12英寸、SiC微孔真空吸盘

干涉物镜

2.5×、5×、10×、20×、50×、100×

Zoom目镜

0.5×、1×、1.5×、2×

其他定制

5孔电动转盘、封闭式机柜(1240×1120×1615


高速3D测量模组

     高速3D测量模组在图像配准和标定上,采用了四方向多相机并行采集3D 图像,速度最大可为传统方案的4倍;采用垂直照射双远心投影模式,结合鬼像抑制算法,最大限度抑制了多次反射带来的测量误差;采用新型图像校准、融合与标定算法,解决了不同角度多方向采集图像的变形和配准问题,精确校准了像素位置和光线斜率,实现亚微米级高精度解码,为提高样品的缺陷检出率和尺寸测量精度,提供了有力的硬件保障。具体需求,请您联系OMTOOLS技术支持。

产品型号 尺寸 对比 文件 单价 发货日期 购物车
OMHMM0100 260×260×334mm ¥180000 请联系客服