Nano120高精度白光干涉仪，用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。基于CSI光学干涉扫描技术原理、结合运动控制模块、3D 点云算法等对被测物件表面进行非接触式扫描并自动生成表面3D/2D图像，通过软件进行数据处理与分析后，自动生成符合ISO标准的测量参数，从而实现对被测物件表面形貌3D测量。
扫面测量技术 CSI移相干涉技术 |
干涉测量CDD 分辨率：≥1920×1200, 可设置ROI |
目镜 标配Zoom目镜1×一只，可电动切换 |
发货清单 | 名称 | 数量 | 名称 | 数量 |
Nano120主机 | 1 | 保修卡 | 1 | |
标准台阶块 | 1 | 横向分辨率版 | 1 | |
操作手柄 | 1 | 用户手册 | 1 | |
软件光盘 | 1 | 安装手册 | 1 | |
产品合格证 | 1 | 接受手册 | 1 |
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可选配件 | 样品台可定制 | 6英寸、8英寸、12英寸、SiC微孔真空吸盘 |
干涉物镜 | 2.5×、5×、10×、20×、50×、100× | |
Zoom目镜 | 0.5×、1×、1.5×、2× | |
其他定制 | 5孔电动转盘、封闭式机柜（1240×1120×1615） |
Nano120高精度白光干涉仪采用宽光谱光源，当样品在干涉物镜焦点附近光学相干长度范围内时，将在图像传感上形成高对比度干涉条纹，从而形成虚拟探针，通过光程扫描可无损、非接触、纳米级精度告诉测量样品表面特征。光学镜头的倍率可自行搭配，其余可选配件价格另计，具体情况可参考相关清单。此外，OMTOOLS还提供定制服务，具体定制需求，请您联系OMTOOLS技术支持。
| 产品型号 | 单价 | 购物车 | |
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OMWLI01 | ￥800000 |
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OMTOOLS干涉物镜适配于Nano120高精度白光干涉仪，除了出厂标配的10×干涉物镜之外，还有2.5×、5×、20×、50×、100×可供选择。具体需求，请您联系OMTOOLS技术支持。
| 产品型号 | 单价 | 购物车 | |
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IMO000025 | 请联系客服 |
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IMO000050 | 请联系客服 |
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IMO000100 | ￥22000 |
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IMO000200 | ￥28000 |
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IMO000500 | ￥35000 |
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IMO001000 | 请联系客服 |
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OMTOOLS的Zoom目镜适配于Nano120高精度白光干涉仪，除了出厂标配的1×Zoom目镜之外，还有0.5×、1.5×、2×可供选择。具体需求，请您联系OMTOOLS技术支持。
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