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线性压电角度台OMZK20A
说明介绍
产品说明
  • 结构紧凑、高刚性;
  • 零间隙,高精度柔性铰链导向系统;
  • 压电陶瓷促进器具有超长使用寿命;
  • 带位移传感器,提供位置和速度闭环控制;

     压电倾斜台,使用压电陶瓷作为运动促动元件,可以在数百毫米范围内实现亚纳米级别的最小步长,从而解决了传统纳米台行程小而微米电动台精度不高的问题,在科研市场、半导体市场、先进制造业生物医疗行业、光学、通信等行业有广泛应用。

     OMTOOLS提供的压电驱动倾斜台具有运动无需润滑,真空兼容,具有步进和扫描双工作模式,在宏观行程范围内达到亚纳米分辨率的定位。

通用参数
机身材质
铝合金
驱动
PZT压电陶瓷
导线
屏蔽线、铜线
最大驱动电压
80(V)
线性压电角度台OMZK20A
  • 结构紧凑、高刚性;
  • 零间隙,高精度柔性铰链导向系统;
  • 常温和超低温均能使用,并且有超高真空可选;
  • 压电陶瓷促进器具有超长使用寿命;
  • 带位移传感器,提供位置和速度闭环控制;
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OMZK20A
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