• 结构紧凑、高刚性。
• 零间隙，高精度柔性铰链导向系统。
• 压电陶瓷促进器具有超长使用寿命。
• 带位移传感器，提供位置和速度闭环控制。

     Z轴升降台，使用压电陶瓷作为运动促动元件，可以在数百毫米范围内实现亚纳米级别的最小步长，从而解决了传统纳米台行程小而微米电动台精度不高的问题，在科研市场、半导体市场、先进制造业生物医疗行业、光学、通信等行业有广泛应用。

     OMTOOLS提供的压电驱动升降台具有运动无需润滑，真空兼容，具有步进和扫描双工作模式，在宏观行程范围内达到亚纳米分辨率的定位。