压电升降台采用压电陶瓷驱动器直接驱动,内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构,采用有限元分析优化柔性铰链结构,柔性导向系统具有超高的导向精度、且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点,主要应用于纳米定位、生物显微、测试应用、半导体技术、光学、微加工等领域。
OMTOOLS提供的OMZH系列压电升降台台,通过压电陶瓷驱动,具有极佳的运动控制精度、定位精度、分辨率和稳定性,都可以达到纳米量级、定位稳定时间仅为毫秒量级、使用过程中不产生磁场同时也不收磁场的影响,并且适用于常规环境以及真空环境。
机身材质 铝合金 |
运动范围 ±1mm |
粗调步进 5~200nm |
细调行程 300nm |
细调步进 0.005nm |
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