• 结构紧凑、高刚性；
• 零间隙，高精度柔性铰链导向系统；
• 常温和超低温均能使用，超高真空兼容；
• 压电陶瓷促进器具有超长使用寿命；
• 带位移传感器，提供位置和速度闭环控制；

     线性压电位移台，使用压电陶瓷作为运动促动元件，可以在数百毫米范围内实现亚纳米级别的最小步长，从而解决了传统纳米台行程小而微米电动台精度不高的问题，在科研市场、半导体市场、先进制造业生物医疗行业、光学、通信等行业有广泛应用。

     OMTOOLS提供的EPSN系列微动压电驱动位移台为平台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构，一体化的结构设计，多维运动无耦合。 机构放大式驱动原理，内置高性能压电陶瓷，可实现100μm位移。闭环版本定位精度可达纳米级。采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有导向精度，具有高刚性、高负载、无摩擦、免维护等特点。压电定位台具有控制精度，分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级，压电位移台体积小、结构紧凑、易于集成。