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线性压电位移台EPSM100A
说明介绍
产品说明
  • 结构紧凑、高刚性;
  • 零间隙,高精度柔性铰链导向系统;
  • 常温和超低温均能使用,超高真空兼容;
  • 压电陶瓷促进器具有超长使用寿命;
  • 带位移传感器,提供位置和速度闭环控制;

     线性压电位移台,使用压电陶瓷作为运动促动元件,可以在数百毫米范围内实现亚纳米级别的最小步长,从而解决了传统纳米台行程小而微米电动台精度不高的问题,在科研市场、半导体市场、先进制造业、生物医疗行业、光学、通信等行业有广泛应用。

     OMTOOLS提供的EPSM系列压电驱动位移台可以实现XY二维空间的精确定位,具有分辨率高、行程大、带有高精度及高分辨率的的位置反馈、操作简单、定位精准、能在真空中使用等优点。

通用参数
机身材质
铝合金
驱动
PZT压电陶瓷
驱动机构
钹青铜
导线
屏蔽线、铜线
最大驱动电压
80V
线性压电位移台EPSM100A
  • 结构紧凑、高刚性;
  • 零间隙,高精度柔性铰链导向系统;
  • 常温和超低温均能使用,超高真空兼容;
  • 压电陶瓷促进器具有超长使用寿命;
  • 带位移传感器,提供位置和速度闭环控制;
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EPSM100A
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