• 三相无铁芯线性电机直接驱动；
• 精密交叉滚柱导轨，有效保证运动精度；
• 纳米级分辨率的非接触式光栅尺；
• 独特装配工艺要求，保证产品的一致性；

     直线电机位移台应用的线性电机为电磁直接驱动器。此类电机省去了动力传动系统中的机械部件，并将驱动力无摩擦地直接传递到运动平台。驱动器可实现高速度和高加速度。无铁芯电机非常适合对精度有超高要求的定位任务，因为其不会与永久性磁铁发生不良作用。这样即使在超低的速度下也能保持平稳的运行，同时，在高速状态下也不会产生振动。避免了控制的非线性行为并且每个位置都很容易控制。非接触式、超高精度的光栅尺直接测量平台的位置。