气浮隔振单元HGZV系列,可以直接承载高精度加工设备,无需床身,可嵌入到仪器设备内,吸收高频振动,阻尼可变,快速抑止扰动。同时具有静态承载力大,固有频率低,损耗小,动态响应快,安装简易快捷等特点。主要用于高精度和超高精度加工设备,例如超精密金刚石车床,超精密磨床等,超精密测量设备,例如AFM,扫描电镜,轮廓仪等。
安装孔 ∮13x4 |
固有频率 ≤4.5 Hz |
气浮浮起高度 5 ~ 20 mm |
静态承载力大,固有频率低,损耗小,动态响应快,安装简易快捷;
可以直接承载高精度加工设备,无需床身,可嵌入到仪器设备内;
吸收高频振动,阻尼可变,快速抑止扰动;
主要用于高精度和超高精度加工设备;
主机综合性能优越;
输出气源稳定;
安全耐用;
能满足实验室精密仪器设备对气源的高频率、高要求使用工况;
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