你的精密实验，是否总差那“最后一微米”？

光纤耦合光强难以锁定峰值

激光干涉测量条纹易发生漂移

薄膜扫描测试重复性波动

......

设备标称指标满足设计要求

实际实验却始终难以达到预期

01.为什么分辨率如此关键？

分辨率，决定了位移台每次最小可控位移的细腻程度，不仅代表微动步距，同时决定位置反馈精度与系统误差抑制能力。

微米级闭环位移台可满足绝大多数科研与工业定位工况，但面向纳米级光路对准、微纳加工、半导体精密检测等高阶应用，1μm分辨率会成为性能边界：难以完成微量位移修正，偏差逐步累积，数据复现越来越难。

基于成熟机型EPSB-G的技术基底，OMTOOLS迭代推出精密电动平移台EPSBNG系列——以更高分辨率、更快反馈机制，从根源上补齐高阶定位的精度缺口，消解 “最后一微米” 带来的实验制约。

02.优化前后核心参数对比

迭代核心：全系传承经典机型稳定可靠性，针对高端精密场景升级纳米精度与集成体验，新旧款分工互补，覆盖不同层级项目需求。

03.四大核心升级

本次迭代针对高精密定位、长期循环、集成便捷性高阶需求，做四大维度性能升级，适配更高标准精密定位场景。

标配贴片式光栅｜实现纳米级闭环反馈

l 全新升级贴片式光栅尺闭环控制，与台面刚性同步、零延迟反馈；

l 标配100nm分辨率，可选50nm/20nm超高精度，适配纳米级高精度科研实验。

电气接口重构｜抗干扰、易集成

l 升级DB9+DB15独立分离接口，替代传统共线设计，动力与信号物理隔离、抗干扰性更强；

l 可兼容OMTOOLS自研MINI控制器、OMTOOLS两相步进闭环控制箱及更多主流控制器，即插即用，减少适配环节。

整机工艺升级｜便于多轴搭建

l 升级45钢轴承座，机身采用铝合金一体铣削+黑色喷砂氧化处理，抗反光、耐形变；

l 设备升级标准化光学台面与拓展孔位，兼容更多市面光学配件，可直接适配OMLB-B系列Z轴转接板，快速搭建多轴模组。

内部装配工艺迭代｜运行稳定性高

l 沿用经过大批量验证的研磨滚珠丝杠、轻预压线性导轨、雷赛两相步进电机、手自一体手轮、欧姆龙限位与原点传感整套成熟硬件配置；

l 针对内部走线、装配应力释放流程做优化，改善线缆长期往复运动磨损风险，优化限位降速逻辑，进一步提升7×24h连续工况下整机运行稳定性。

04.应用领域

光学光电领域

精密光学测量、光路校准调试、光纤对准耦合、激光微加工、干涉仪系统搭建、光学镜头组装调芯、空间滤波系统、激光雷达光学校准、光谱扫描检测、超分辨显微光路微调。

半导体与微电子行业

半导体晶圆检测、光刻掩模对准、芯片封装键合、探针台精密定位、PCB元器件检测、MEMS器件组装、FPD面板检测、芯片引脚对位、半导体真空测试、电子元件AOI自动光学检测。

激光加工应用

激光精密打标、激光微切割、激光焊接、激光打孔、飞秒激光加工、激光扫描成像、激光聚焦微调。

材料科学与前沿科研

材料微观表征测试、扫描电镜配套样品台、纳米压痕测试、原位力学拉伸实验、真空高低温实验平台、光谱分析实验、高校物理 / 化学教学实验、纳米材料观测定位。

工业精密检测与自动化

3C电子精密装配、新能源电池检测、全自动尺寸计量设备、机器视觉对位平台、微小工件精密搬运、自动化精密贴合、光伏电池片检测。

04.型号参数速览